Hochfrequenz- und Mikrowellensysteme erfordern typischerweise perfekte Leistungsverteilungsnetze, die über zwei Arten von Mikrowellenstrukturen ausgeführt werden: Teiler zum Aufteilen eines Eingangssignals in zwei oder mehr Ausgangssignale und Kombinierer zum Zuordnen von HF-Eingangssignalen von mehreren Eingängen zu einem einzelnen HF-Ausgangssignal .
Elektrothermomechanische Modellierung eines V-Strahl-Aktuators
Die elektrostatische Betätigung, die üblicherweise in MEMS verwendet wird, basiert auf den elektrostatischen Feldern und den Kräften, die sie auf die Strukturen ausüben. Bei elektromechanischen Aktoren wie HF-Mikroschaltern, Kammantrieben und Drucksensoren ist die durch die elektrostatischen Kräfte verursachte Verformung der Elektroden das Hauptanliegen.
Elektrostrukturanalyse eines MEMS Comb Drive Actuators
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